MEAS傳感器是由電子、電氣和機械元件組成的微觀集成設備，它們通過使用稱為微系統(tǒng)技術 (MST) 的技術共同工作以滿足單一功能要求。MEAS傳感器被認為是傳統(tǒng)集成電路制造的延伸。 傳統(tǒng) IC 制造技術與 MEAS 的主要區(qū)別在于，使用 MEAS 不僅可以制造電容器和電感器等電氣元件，還可以制造齒輪、彈簧、梁等機械部件。使用傳統(tǒng)IC技術，只可以制造導體， 絕緣體、二極管和晶體管。
MEAS借助先進的IC制造技術將有源和無源元件集成到單個硅基板中。 有源元件是傳感器和執(zhí)行器，而無源元件是無源電子系統(tǒng)和無源機械系統(tǒng)。 由信號處理電路（如放大器、ADC、濾波器等）組成的電子系統(tǒng)是使用IC制造工藝設計的，而由齒輪、曲柄、軸承等組成的機械系統(tǒng)是通過微加工工藝設計的。
傳感器是當今數(shù)字世界的重要組成部分之一。 由于所有計算和處理都是在數(shù)字信號上完成的，因此在模擬世界和數(shù)字電子設備之間應該有一個媒介。 傳感器彌合了這一差距，因為它們用于觀察模擬物理參數(shù)的時間效應并生成有意義的信息（發(fā)送到計算機）。傳感器的現(xiàn)代定義有時可能令人困惑，但簡單來說，傳感器是一種包含基本傳感元件的設備，這些元件可以感知溫度或濕度等物理量并將其轉(zhuǎn)換為電信號。 該傳感器還包含一個信號處理單元，例如放大器、濾波器或 ADC 因為這些元件的組合。
對于MEAS傳感器，如果傳感器是使用MEAS技術設計和制造的，則稱為微加工微傳感器或簡稱為 MEAS 傳感器。例如，一個手勢控制機器人包含一個 3 軸加速度計、一個 3 軸陀螺儀和一個數(shù)字運動處理器。
不同類型的 MEAS 傳感器，MEAS技術的主要實施者之一是汽車行業(yè)。 現(xiàn)代汽車使用許多傳感器，其中大部分是基于 MEAS 的設備。 以下是現(xiàn)代汽車中使用的 MEAS 傳感器列表。
3038-2000加速度計——用于電子穩(wěn)定控制和安全氣囊展開。 慣性測量單元或 IMU（它們是 MEMS 加速度計和 MEMS 陀螺儀的組合）——用于測量自動駕駛的偏航、俯仰和滾動。
